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本文研究了用数字散斑干涉术(DSPI)测量物面形变。DSPI综合了散斑干涉技术、精密测量技术、计算机图像处理技术,测量误差小、精度高,可用于检测微米量级的形变。基于DSPI原理,设计了由泰曼-格林系统、马赫-曾德系统及微机控制的实时散斑系统组成的三种实验装置,并用这三种实验装置进行粗糙物体表面的形变测量。为实现散斑干涉术的数字化,本文利用CCD接收散斑干涉图并将其输入计算机进行数字图像处理。根据散斑干涉图高噪声的特点,采用相减模式得到包含物体形变信息的数字散斑相关条纹,计算出物体的形变量。最后,本文在研究了空域和频域中各种去噪算法去噪能力的基础上,采用多种Matlab滤波程序,有效的消除了相关条纹中颗粒性噪声的影响,以改善相关条纹的对比度和图像的清晰度。