【摘 要】
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该文的目的是研究SrBiTaO(SBT)和BiLaTiO(BLT)两种Bi系层状钙钛矿铁电薄膜的湿化学方法制备,以及其微结构,电学性能和使用于铁电集成器件的可靠性问题.主要成果如下:1.采用金
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该文的目的是研究SrBi<,2>Ta<,2>O<,9>(SBT)和Bi<,4-x>La<,x>Ti<,3>O<,12>(BLT<,X>)两种Bi系层状钙钛矿铁电薄膜的湿化学方法制备,以及其微结构,电学性能和使用于铁电集成器件的可靠性问题.主要成果如下:1.采用金属有机化合物分解法(MOD)在Pt/TiO<,2>/SiO<,2>/Si衬底上制备了性能优异的SBT薄膜.2.该文对SBT薄膜在铁电存储器应用中的可靠性进行了深入的研究.3.首次通过化学溶液沉积法在Pt/TiO<,2>/SiO<,2>/Si衬底上制备了Bi<,4-x>La<,x>Ti<,3>O<,12>(BLT<,X>)系列薄膜.650℃退火即可得到完全结晶、性能优良的薄膜,制备温度比SBT薄膜低了50~100℃.
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