薄膜声波传感器因其高灵敏度在环境监测、临床诊断和生物检验等领域有着广阔的应用前景和价值。目前,双端反射型Lamb波压电传感器灵敏度高,但由于品质因数（Q值）过低,制约了其在精细样品检测时的应用场景。为此,本论文提出使用可操纵介质中传播弹性波的声子晶体替代反射栅增加Lamb波谐振器谐振频率的方案,主要完成的工作内容有:利用Comsol仿真对10硅基器件和2硅基器件仿真,结果表明使用厚度为2的硅基器件在A0和S0模式下,谐振器内部的粒子移动是10硅基器件的几倍之多。同时在材料选定后计算叉指电极宽度及间距,A0模式和S0模式谐振频率,建立基础Lamb波谐振器模型,为后续不同类型的Lamb波谐振器提供理论支撑。建立双端反射型Lamb波谐振器的模型并优化工艺流程,对器件表征。并使用双端反射型Lamb波谐振器和QCM传感器对碳量子点溶液的浓度梯度样品测量,实测因浓度变化而导致的Lamb波谐振器频率移动是QCM传感器频率移动数量级的2倍,确立了Lamb波谐振器液相探测中的优势。使用Lamb波谐振器对更细分样品溶液进一步检测,发现其难以准确区分浓度差异更小的样品溶液。通过Agilent E5061B型网络分析仪实测Lamb波谐振器的Q值仅为39.304,经计算发现原因在于此双端反射型Lamb波谐振器反射栅的反射率仅为0.09%,弹性波的横向传播成为了制约谐振器谐振频率的关键因素。为设计一款复合声子型高Q值Lamb波谐振器,研究了声子晶体的带隙特性影响因素。利用有限元仿真Comsol稳态求解器,分别对金、铅、铝、铬、钛、聚对二甲苯、环氧树脂散射体做了全尺寸带隙特征分析。在Si基声子晶体厚度为2,单胞长度为40的情况下,Parylene C的第一完全带隙宽度最大,为51.58 MHz。所有散射体的第一完全带隙宽度均随填充率增加而增大,在达到峰值后随填充率增加而减小。通过研究各散射体在填充率相同的情况下,散射体其他因素对带隙特性的影响,发现散射体的密度与Si基体的密度越相近,散射体的第一完全带隙宽度越宽,反之则越小。在同样条件下,散射体与Si基体声阻抗差异性越大,声子晶体的第一完全带隙宽度越宽。通过以上研究,建立复合声子型Lamb波谐振器模型,利用Comsol有限元仿真中的声压场,验证了声子晶体对弹性波传播的可调制性,其叉指电极处的弹性波密度为低处的9倍之多,为声子晶体代替反射栅提高Lamb波谐振器谐振频率提供了理论依据。