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近年来,传统能源的日益枯竭以及其使用带来的严重的环境问题日益突显,太阳能作为一种无污染、可再生的能源受到人们的极大关注。制备高效的太阳能选择性吸收涂层是太阳能热利用的关键技术。TiOxNy/TiN“蓝膜”高吸收率、低发射率的特点表现出优异的光选择性吸收,被广泛用于平板型太阳能热水器的吸收涂层。本研究利用真空镀膜技术在铝基体上制备了TiOxNy/TiN复合涂层,研究了N2分压、02分压、基片初始形貌、过渡层厚度及过渡层种类等条件对薄膜性能的影响,确定了制备TiOxNy/TiN吸热涂层最优工艺条件,利用XRD、SEM.色差仪分析了薄膜的物相组成、晶体结构、表面形貌、组成成分；通过电化学工作站、盐雾试验、紫外可见分光光度计测试了薄膜的耐腐蚀性能、吸光度,研究结果如下：TiN薄膜出现了分别位于2θ=36.7°、42.7°的(111)、(200)衍射峰。随着N2分压变小,TiN在2θ=36.7°的(111)晶面择优取向增加,膜表面颗粒变小趋势明显。在N2为0.09Pa时,耐蚀性最好,自腐蚀电流为2.083E-6A、自腐蚀电位-0.653V；中间层氧气分压变化对膜致密性影响很大,反应气体分压过高(0.22Pa),膜表面会出现孔洞,在氮气0.03Pa,氧气0.13Pa薄膜平整度较好,耐蚀性能0.13Pa最好,其自腐蚀电流为2.284E-6A；调节02和N2分压制备的TiOxNy/TiN一系列干涉薄膜均显示为蓝色,吸光度均比金川公司式样要高,基片初始形貌光滑的铝片在700-800nnm的可见光范围光吸光度在1.5附近,吸光度和色差数据比较可知,薄膜越蓝,吸光度越高,0.15Pa吸光度最佳,色差值也是该气氛下薄膜最蓝,L、a、b值分别是33.93、-3.3、-35.84。同条件下粗糙基体的吸光度在1.3附近,耐蚀性也比光滑面差。研究表明：Ti过渡层耐蚀性优于Cu,增加Ti过渡层的厚度薄膜性能更优异,靶基距12cm,表层溅射8min(约360nm)Ti过渡层,中间层N20.03Pa、O20.13Pa,表层N20.09Pa,薄膜的表面最为平整致密,耐蚀性最好,自腐蚀电流为1.263E-6,腐蚀电位-0.598V。