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【摘 要】
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随着集成电路的发展,实现电路系统性能的高集成度、高性能以及高可靠性是必然趋势,这就迫切要求缩小单个的器件特征尺寸,力争在单片上集成器件的个数更多,使其功能更为复杂。
【发表日期】
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2011年期
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