随着MEMS器件在各种领域都有着非常广泛的应用,MEMS失效问题已经是急需解决的问题之一。在军事设备等使用领域中,温度、振动、冲击能够导致其结构的破裂、输出漂移、疲劳失效等,因而要求MEMS可以承受很高的温度、振动、冲击载荷。MEMS高g值微加速度计作为MEMS的主要分支,分析其失效是MEMS器件可靠性领域的重要内容。本文以压阻式MEMS高g值微加速度计作为分析对象。首先在理论上分析其在高温、振动、冲击下的失效模式和机理。其次通过软件仿真模拟实际使用环境,三者结合对其失效进行了深入分析,能够得到在高温环境下:热应力导致梁的弯曲从而产生疲劳失效以及温度影响阻值导致漂移太大而失效;振动作用下:振动造成的渐进与累积的疲劳失效以及加速度计的管壳发生层裂;冲击作用下:键合引线脱落而失效以及梁断裂而失效;再次设计了高温、振动、冲击下的可靠性强化试验剖面,确定了在高温、振动、冲击环境下的敏感应力及应力分布,通过利用两参威布尔分布等方法对高g值微加速度计进行评估。最后,对所做的高g值微加速度计的失效分析研究进行总结,并指出高g值微加速度计研究中需要进一步研究的内容和改进的方向。