随着微机械在工程中的广泛应用,国际上许多国家投入大量资金研究微机械的制造方法——微细加工技术。其中微细电火花线切割加工以其较高的加工效率、较好的加工质量、可以加工复杂三维零件等很多方面其他微细加工方法无可替代的优势,成为微细加工领域重点的研究对象之一。到目前为止,对微细电火花线切割的研究主要集中在微细电火花线切割机床的研制和生产应用方面,基础理论的研究还一直滞后,特别是对微细电火花线切割表面形貌的认识在理论与实际之间存在着偏差,其表面微观形貌与传统加工及电火花成形加工的表面都不同。传统的测量方式和测量理论已不适合微细电火花线切割表面,这严重制约了微细电火花线切割的进一步发展。本文采用均匀设计试验方法加工微细电火花线切割试件,在不影响工艺规律的条件下既减少了试验次数又保证研究的全面性;通过扫描探针显微镜对所加工的试件进行扫描,获得表面三维形貌数据;用小波分析方法对表面形貌分离重构,主要包括降噪、提取基准面和分离表面形貌特征;针对微细电火花线切割表面形貌特征和功能应用,提出相应的表征参数,建立微细电火花线切割表面形貌及功能的评价体系,为微细电火花线切割表面评定标准的建立提供依据;总结各个参数的变化规律,应用回归分析方法建立表面形貌与加工参数之间的多元非线性回归方程,为微细电火花线切割加工工艺规律的研究提供理论依据,对于微细电火花线切割技术的发展具有一定的现实意义。