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类金刚石膜(diamond-like carbon films,简称DLC膜)因其高硬度、高化学稳定性、良好的摩擦磨损性能而得到广泛应用。DLC膜中掺入W元素可以有效提高薄膜的硬度与耐磨性,改善DLC膜的综合摩擦磨损性能本文利用离子束沉积+磁控溅射制备掺钨DLC膜,通过改变钨靶溅射电流获得了不同W含量的掺钨DLC膜,探讨了W含量对DLC膜结构及性能的影响,并对W含量及摩擦条件与掺钨DLC膜摩擦磨损性能的关系进行了研究。结果表明:(1)利用离子束沉积+磁控溅射技术制备的掺钨DLC膜表面存在