【摘 要】
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CoPt合金膜作为一种磁性存储材料，由于其具有较大的各向异性和矫顽力，一直受到研究者的重视。同时C能够增大磁性颗粒之间的距离，这对减小介质噪音很有意义，所以CoPt／C纳米磁性颗粒
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CoPt合金膜作为一种磁性存储材料，由于其具有较大的各向异性和矫顽力，一直受到研究者的重视。同时C能够增大磁性颗粒之间的距离，这对减小介质噪音很有意义，所以CoPt／C纳米磁性颗粒膜得到了非常广泛的研究。本文在参考以前关于CoPt／C颗粒膜实验研究的基础上，采用直流磁控溅射方法制备了C（72（?））／[Co43Pt57（7（?））／C（8（?））]x（x=50-7）和C（72（?））／[Co50Pt50（9.8（?））／C（8（?））]x（x=10-60）两个系列样品。然后在真空度4×10-4 Pa、700℃、退火3小时。 对样品的结构和磁性进行了系统的分析和研究后，得出了如下结论： 1．结构方面： 热处理后的样品结构优化。XRD测量表明：由溅射态的fcc相占大部分向fct相占大部分转变。AFM测量发现：热处理导致了薄膜原来的层状结构的破坏，形成了分布均匀的颗粒膜。 2．磁性方面： 溅射态样品的矫顽力只有几十Oe，剩磁比也很小，表现为软磁性质。热处理后的样品的矫顽力，在平行和垂直膜面方向上都有很大程度的提高，均达到了5kOe以上。剩磁比也有很大提高。通过对系列样品[Co43Pt57（7（?））／C（8（?））]x的矫顽力的对比研究发现，随着膜的厚度的减小，样品的矫顽力几乎保持不变。[Co50Pt50（9.8（?））／C（8（?））]x系列样品的矫顽力的对比研究也得到了同样的结果。 此研究结果达到了我们的研究目的，对于提高磁记录密度具有非常重要的意义。
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