【摘 要】
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SOI器件和电路的辐照效应一直是应用领域的研究焦点,本论文在系统调研SOI器件和电路国内外发展动向的基础上,分别从理论模拟和实验两个方面开展了CMOS/SOI单粒子效应和总剂量效
【出 处】
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中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)
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SOI器件和电路的辐照效应一直是应用领域的研究焦点,本论文在系统调研SOI器件和电路国内外发展动向的基础上,分别从理论模拟和实验两个方面开展了CMOS/SOI单粒子效应和总剂量效应两方面的研究工作。 在CMOS/SOI单粒子效应方面,首先对单粒子翻转机理进行了探讨研究,建立了入射单粒子在SOI器件中产生电子—空穴对和形成瞬态脉冲电流的一维SPICE模型。其次建立了SOI器件的二维模型,用MEDICI二维模拟软件对单粒子现象进行了计算。模拟结果与电荷漏斗模型相吻合。另外设计了一种采用隔离阱技术的SOI抗单粒子翻转的反相器单元电路,采用HSPICE软件模拟分析了改反相器的抗单粒子性能。结果表明,这种反相器结构具有优良的抗单粒子性能。 在CMOS/SOI总剂量效应方面,在标准SIMOX材料和改性的SIMOX材料上分别制备的具有环栅结构的部分耗尽CMOS/SOI晶体管,并进行了X射线的总剂量辐射实验,研究了其背栅和正栅在三种不同偏置下的X射线总剂量辐照特性,分析了不同偏置对辐照效应的影响。结果表明,在总剂量辐照下,对于背栅,PG均为最劣偏置,其次是OFF偏置,ON偏置下器件受辐照的影响最小;而对于正栅,ON偏置的正栅阈值电压漂移量最大,其次是PG偏置,OFF最小。并且改性的SIMOX材料制作的CMOS/SOI具有良好的抗总剂量辐射性能。 建立了NMOS/SOI器件的总剂量辐照模型,模拟研究了NMOS/SOI总剂量辐射效应的机理。利用该模型,可以对不同结构参数(如栅长、结深、衬底浓度和沟道掺杂浓度)的器件进行总剂量仿真模拟,包括器件内部的电场分布、电势分布、迁移率分布及载流子速度等的分布,可以更全面地研究辐射特性。同时本文对如何提高SOI器件的抗总剂量性能作了初步探讨。
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