【摘 要】
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等离子体源离子注入(PSII)是一种把处理工件浸没在等离子中,并直接加上负脉冲高压或负直流高压,实现全方位离子注入的技术.这是当今最为先进离子注入技术,在PSII应用中,注入
【出 处】
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核工业西南物理研究院 中国核工业西南物理研究院
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等离子体源离子注入(PSII)是一种把处理工件浸没在等离子中,并直接加上负脉冲高压或负直流高压,实现全方位离子注入的技术.这是当今最为先进离子注入技术,在PSII应用中,注入离子种类、处理温度、注入能量和剂量是最重要的可控制参量,其中温度是一个较为重要的参量,温度在PSII中有至关重要的影响,直接影响表面改性效果.该文将从不同方面系统论述一种新的表面工程方法—升温等离子体浸没离子注入技术及应用.首先,从物理思想、模型建立进行探讨,并进行一系列模拟计算,提供理论依据;对PSII升温注入系统进行全面论述.测试系统中,着重介绍等离子体参数的测量及工件表面温度测量系统,从原理、设计、测量结果进行一一论述;另外,为了探讨温度在PSII中对材料改性影响机理,分别选用不同材料进行温度对等离子体源离子注入(PSII)影响研究.
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