本文采用相分辨发射光谱法对低气压双频容性耦合氩气、氧气和氩-氧混合气放电等离子体进行了时间空间分辨实验研究,并讨论了不同放电条件对等离子体激发速率的时空分布的影响。主要得到以下结果：在纯氩和氩气-氧气混合气体放电的功率源极板的等离子体鞘层区域处观察到两种电子碰撞激发模式：鞘层扩张和二次电子引起的电子碰撞激发模式,并发现这两种激发模式的激发轮廓均受到低频电源周期的时间调制；而在纯氧放电等离子体中主要观察到了一种鞘层扩张引起的激发模式。采用相分辨发射光谱法对低气压纯Ar放电进行的时间空间分辨的研究,研究结果表明：放电功率和气压对等离子体鞘层扩张和二次电子引起的激发模式都有明显的影响；但低频功率过高时,在电极表面容易发生功率吸收,使二次电子引起的电子碰撞激发轮廓变化不明显；放电气压过高时,两种激发模式均变弱；放电气体中氧气含量增加和放电极板间距增加均使得两种激发模式变弱。对双频容性耦合氩等离子体的轴向分辨进行了实验研究,实验结果表明靠近放电腔上极板轴向分辨曲线呈现出单峰状结构,其峰值近似为等离子体鞘层厚度；高频功率的增加和加入少量氧气能够明显的增强光谱线的强度；低频功率的变化对光谱线强度影响不大；放电极板间距的增加、较高的放电气压和加入大量的氧气会使得等离子体的轴向均匀性降低。在利用O原子的777.4nm和844.6nm谱线对纯氧放电的时间空间分辨进行的初步实验研究中,高频功率、低频功率和放电气压的改变对等离子体鞘层中中电子碰撞激发速率均有明显的影响；同时,高频功率的增加使得两种激发模式均向低频周期左边偏移。在一定范围内增加放电气压,鞘层扩张引起的电子碰撞激发强度先增强后减弱,而二次电子引起的激发轮廓强度逐渐减小。