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【摘 要】
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微混合器伴随着微机电系统(MEMS)的发展正逐步成为微系统的研究热点,其超小的体积结构使其在生物、化学等研究领域有传统设备无法比拟的优点。同时,微混合器的超小体型也给微混合器的加工结构检测带来了不便,传统检测设备与方法不能检测其内部三维结构。本文提出了一种基于模型重构的微混合器结构检测方法,借助于高精度工业CT设备,通过相关模型重构与特征分析算法,实现了微混合器的三维结构检测,为微尺度下的结构分析
【机 构】
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中国石油大学(华东)
【发表日期】
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2016年05期
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