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外延ZnO薄膜大多数沿着c轴方向择优生长,沿着c轴方向生长的ZnO薄膜,锌原子层与氧原子层交替排列,由于缺少反演对称性,从而导致了很强的晶格自发极化效应,降低了ZnO基器件的效率。使ZnO材料沿着非极性或半极性方向生长可避免或削弱晶格极化效应造成的不良影响。另一方面,制备高质量的p型ZnO材料仍是一世界性研究难题,这极大程度上阻碍了ZnO同质pn结器件的发展。作为一种选择性方案,采用p型材料与n型ZnO制备异质结开始受到了关注。本文采用脉冲激光沉积系统(PLD),制备了不同Li含量的LixN