Pb(Zr,Sn,Ti)O<,3>反铁电陶瓷的制备及其电致应变性能应用研究

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本文以Pb(Zr,Sn,Ti)O3反铁电陶瓷的电致应变性能及其应用为对象,研究该体系 中的合成制备—组成结构—性能—应用关系。 根据改善原料混合均匀程度,同时兼顾合成机理的原则,设计了氧化物-共沉淀 法和部分共沉淀法用于PZST反铁电陶瓷的粉体合成。前者结合了固相反应法和共沉 淀方法的优点,A位元素以氧化物形式引入,而B位采用共沉淀方式引入;后者B位 仍采用共沉淀方式引入,而A位则以溶液形式引入,进一步提高了原料的混合均匀 程度。 氧化物-共沉淀法和部分共沉淀法合成的PZST粉体的致密烧结温度降低到 1150℃和1100℃,较固相法降低100℃和150℃。采用上两种方法可获得孔隙少、晶 粒尺寸均匀的良好微观结构。两种方法的最佳晶粒尺寸均为4~5μm,在6kV/mm下 的最大电致应变量分别为0.39%和0.38%,高于固相反应法的0.22%。 PZST反铁电陶瓷的电性能随组成改变呈现规律性变化。当Zr含量不变,随Sn/Ti 比的提高,介电常数下降,居里峰降低展宽,居里温度基本不随Sn/Ti比变化;介质 损耗随Sn/Ti比的提高而降低;电滞回线和电致应变呈现从铁电态到反铁电态的变化 的过程。 当Ti含量不变,随Zr/Sn比的降低,居里温度向低温方向移动,同时介电峰出现 展宽;介质损耗也随Zr/Sn比的降低而降低。当处于反铁电态时,随Sn/Ti比的提高, 反铁电—铁电相变场强增大。 分别采用Nd对PbLa(Zr,Sn,Ti)O3和Ba对PbNb(Zr,Sn,Ti)O3的电致应变性能进行优 化。在Pb0.97Nd0.02(Zr0.65Sn0.23Ti0.12)O3组成中,用2%mol Nd3+取代pb2+,相变场强EAFE-FE 降低至3.5lkV/mm,6kV/mm下最大应变提高到0.66%。在组成为(Pb0.95Ba0.04) [Nt0.02(Zr0.57Sn0.38Ti0.05)0.98]O3的样品中,随Ba2+取代量的提高,样品的介电常数和介质 损耗上升,介电峰尖锐,相变温度下降、介质损耗上升。同时,原处于反铁电态的 样品逐渐转变为铁电态,相变场强EAFEFE降低。当Ba2+的取代量为4%mol时,EAFE-FE 降低为3kV/mm,电致应变为0.35%。 采用维氏硬度和压痕断裂力学测试方法研究制备方法对PZST力学性能的影响及 力学性能的提高。采用部分化学法和固相反应法制备的样品维氏硬度相当,但前者 由于微观结构校好,其断裂韧性高于后者。 采用ZrO2颗粒弥散增强,当引入ZrO2含量为2%mol时,PZST的维氏硬度较增强 前提高42.2%,断裂韧性提高49.9%。随着ZrO2含量的提高,维氏硬度和断裂韧性呈 下降趋势。采用溶胶包覆方法时,PZST的为硬度在包覆量为15%mol时达到最大值, 断裂韧性在包覆量为10%时达到最大值,分别比包覆前提高61.6%和25.5%。然后随 包覆量的提高,维氏硬度和断裂韧性呈下降趋势;溶胶包覆法对PZST的硬度提高效 果显著,但对断裂韧性的提高则较为有限。 采用XRD研究了Pd/Ag内电极与PZST形成的共烧多层结构中的界面反应。高温 共烧后,Pd与PZST中产生的Pb生成组成为Pd3Pb的合金。Pd3Pb的生成量与内电极中 Pd的含量有关。由于Pd/Ag电极与PZST反应生成了Pd3Pb,出现介电常数下降,损耗 增加。采用Pd30/Ag70电极虽然介电常数有下降,但损耗无明显变化,而Pd70/Ag30 电极介电常数下降的同时,损耗显著增大。 采用流延法制备了PZST多层相变致动器,瓷膜单层厚度40μm,有效层数20层, 内电极采用Pd30/Ag70浆料,在1100℃下共烧而成,内电极图形采用Tab结构,样品 外形尺寸4.5mmx3mm,在240V的驱动电压下获得1.9μm位移量。 关键词:反铁电体,锆钛锡酸铅,粉体合成,场诱相变,电致应变,增韧陶瓷,多层陶瓷致动器
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