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薄膜基底结构热应力分析与模拟

来源 :中北大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sxhh122

【摘 要】

：

随着电子器件和光电器件不断地朝着小型化、多用途化等方向发展,其中由于热膨胀系数不匹配或温度梯度所导致的热负荷已经成为降低器件使用寿命和器件发生故障的主要因素。为满足这些器件设计中的理论验证要求,则必须需要更精确的设计数据与仿真数据。然而长期以来,关于在这些器件中常见的薄膜基底结构,对于其在不同环境条件下的受力性态尚不明确,至今尚未形成统一的分析理论和仿真理论。论文主要应用理论分析、数值模拟、有限元

【作 者】

：

郭学敏 

【出 处】

：

中北大学

【发表日期】

：

2019年09期

【关键词】

：

热致残余应力 有限元分析 分析建模 薄膜-基底结构 

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