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表面沉积局限面积NiTi薄膜的PZT材料的频率响应特性

被引量 : 0次 | 上传用户：caonima_0720

【摘要】

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本文利用模板,采用磁控溅射法在PZT基体上溅射沉积局限面积的NiTi SMA薄膜,运用SEM、显微硬度测试与阻抗分析等研究了所制备材料的显微组织结构、力学性能及电学性能。实验发现,当模板型腔间距固定为L=1mm、型腔宽度M≤2.0mm时,非连续NiTi SMA薄膜组织具有良好的等轴晶组织结构。在固定薄膜间距1mm条件下,随M的增加, NiTi SMA薄膜的组织从等轴晶结构向柱状晶结构变化。制备材料

【作者】

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【机构】

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天津理工大学

【发表日期】

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2011年01期

【关键词】

：

模板局限面积 NiTi SMA/PZT材料传感器频率响应结构健康监测系统

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本文利用模板,采用磁控溅射法在PZT基体上溅射沉积局限面积的NiTi SMA薄膜,运用SEM、显微硬度测试与阻抗分析等研究了所制备材料的显微组织结构、力学性能及电学性能。实验发现,当模板型腔间距固定为L=1mm、型腔宽度M≤2.0mm时,非连续NiTi SMA薄膜组织具有良好的等轴晶组织结构。在固定薄膜间距1mm条件下,随M的增加, NiTi SMA薄膜的组织从等轴晶结构向柱状晶结构变化。制备材料的力学性能测试表明,随型腔宽度M递增,膜基结合强度依次减小;等轴晶NiTi SMA薄膜试

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