光子晶体是一种介电常数(或折射率)成周期分布的人工晶体,分布变化周期与光波长有相同量级。类似电子能带,光子晶体存在光子带隙,落在禁带中的电磁波禁止传播。铌酸锂晶体本身具有的电光、声光、热电、铁电、非线性等特点,基于铌酸锂的集成光学器件引起人们的广泛关注。通过在铌酸锂基底上设计光子晶体结构,产生禁带特性,可以制备电光可调禁带器件。本文对铌酸锂光子晶体进行研究和制备。在理论方面,结合倒格矢、布里渊区、能带、模式完全禁带等概念,对基于铌酸锂上几种经典结构光子晶体进行禁带分析。以钛扩散铌酸锂在通信波长1.55μm异常折射率为2.143为例,当晶格常数a=0.682μm,半径为r=0.4a时,空气柱三角晶格产生最宽的TM完全模式禁带,禁带区域为1.378μm到1.819μm。通过研究光子晶体透射谱,分析了空气柱层数为6、12、18光子晶体透射谱,选取12×12空气柱结构。结合铌酸锂的电光效应,分析了铌酸锂光子晶体的禁带可调的特性,分析折射率变化从2.1变化为2.2,禁带展宽。在制作工艺上,在制备的钛扩散铌酸锂波导上,宽度为6μm,根据设计的空气柱三角晶格光子晶体结构,利用微纳加工,使用聚焦离子束铣削设备FEI Quanta 3D FEG在钛扩散铌酸锂基底上制备的光子晶体结构,晶格常数为681.8 nm,直径为542 nm,空气柱深度为1.92μm。利用扫描电子显微(SEM)观察制备的样品,空气柱结构基本达到设计的尺寸与周期排列要求。