基于光栅衍射光干涉的位移测量技术研究

被引量 : 0次 | 上传用户:feileizuhe
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
为了研制结构紧凑的高精度纳米分辨力位移测量装置,对基于光栅衍射光干涉的位移测量技术进行了理论研究并研制了原理样机。系统地分析了光栅位移测量理论及方法。基于标量衍射理论,建立了透射式单光栅系统数学模型,分析了光栅栅距等参数对莫尔干涉的影响;利用矢量衍射理论给出了任意斜入射条件下的广义光栅方程,分析了光栅栅距等参数对衍射级次和衍射效率的影响,讨论了有限尺寸高斯光束入射时的衍射特性。提出和实现了一种采用长度为100mm、刻线密度为400lp/mm的高密度单光栅衍射光干涉的位移测量系统,两衍射光进行差频干涉,实现了光学四倍频,原始信号周期达到0.6μm。采用偏振移相的方法获得四路空间相位相差90°的原始信号,系统进行1024倍电子细分,细分后系统分辨率达到0.586nm。利用三光栅理论建立了反射式双光栅系统的光强模型,分析了系统参数对调制光强的影响并与双光栅理论结果进行了对比,讨论了光源尺寸等因素对系统输出信号的影响;针对典型Littrow模式建立了输出信号之间相位关系的模型,分析了光栅栅距等参数对相位关系的影响。分析了影响光栅位移测量系统精度的各种误差因素,针对环境变化造成的随机误差进行了相应的滤波处理。根据信号特点设计了FIR数字滤波器,能够有效地抑制低频噪声的影响;基于平稳卡尔曼滤波理论,在典型的电机控制情况下,给出了卡尔曼滤波的一般模型,通过仿真和实验证明了方法的有效性。
其他文献
慈善事业是一项道德事业,是人们爱心行为的经常化、制度化和规范化。慈善事业是我国社会保障体系中不可缺少的组成部分,在构建和谐社会、促进社会的公平正义安定有序、推动社
香樟(Cinnamomum camphora(L.)presl),樟科(Lauraceae)樟属常绿乔木或灌木,是我国亚热带地区重要的材用和特种经济树种。本实验以八个香樟无性系为基本研究材料,通过无性繁殖
中国的养老公寓市场尚处探索阶段,概念尚不明确,忽视了养老照护需求。本文从老人的入住动机、选择养老公寓时考虑的因素以及对硬件设施及环境的需求等三方面,分析老人对养老
从操作人员的素质、工程中易出现的质量隐患及预防措施等方面,阐述了建筑施工中全面质量管理的方法与措施。
近年来,信息化技术在图书馆管理服务中的广泛应用,其对图书馆领导力水平也提出了更高的要求。本文在信息化背景下提出高校图书馆领导力的内涵及其重要意义,并从高校图书馆领
应急预案的构建是图书馆危机管理的重要组成部分。针对我国高校图书馆应急预案普遍零碎、表面化以及缺乏体系的现状,提出图书馆应急预案的制定应该遵循"以人为本、预防为主,危
目的:观察檀香不同萃取物对豚鼠离体回肠平滑肌收缩的影响,探讨其作用机制。方法:利用BL-420F生物机能实验系统,在HW-400S恒温平滑肌浴槽中,37℃下观察檀香不同萃取物对豚鼠
【特色课程概貌】STEM是科学(Science)、技术(Technology)、工程(Engineering)和数学(Mathematics)四门学科的缩写,这四门学科相互独立但彼此间内在关联,是现代科技创新教育
化工企业作为我国的一项基础性行业,是我国国民经济的重要组成部分。化工企业在开展各项生产工作时,会接触到较多的有毒及易燃易爆危险物质,进而形成危险化学品重大危险源,一
腹泻型肠易激综合征(D-IBS)是一种常见的慢性肠道疾病,其主要症状是腹泻,并有腹痛、腹胀等症状。在医学中属“泄泻”、“腹痛”、“郁证”等病证范畴。国家标准《中国临床诊疗术