作为微流体系统的核心部件、驱动源,专家学者对微泵开展了大量的研究,实现了众多应用。针对传统微泵结构复杂、制备困难等不足,本文提出了一种新型的基于激光冲击波力学效应的微泵驱动方法,使用该方法设计的微泵结构简单、易于制造、成本低,有利于微型化及与微机电系统(MEMS)集成。通过研究激光冲击波理论,认为激光冲击波可以应用于微泵的驱动。在研究国内外多种微泵设计后,针对激光冲击波驱动提出了设计无阀型微泵。通过CFX对无阀微泵关键部件—扩张/收缩管进行了性能分析,得出了扩张/收缩管内部流体流动规律,在此基础上设计了适用于本文的平面型无阀微泵。计算出无阀微泵的耦合模态,得出微泵驱动最佳频率。通过研究激光冲击波,得出激光功率密度的适用范围。通过流固耦合仿真验证了该驱动方法的可行性,研究激光的频率、占空比、功率密度、光斑直径等参数对微泵流量的影响并进一步分析了流量的稳定性。利用回归分析得出激光驱动微泵的最优参数,得出微泵获得最大流量的最优解。最后利用MEMS技术试制了微泵样机。