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【摘 要】
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随着信息显示技术的发展,当前主流的非晶硅薄膜晶体管(a-Si TFT)技术越来越无法满足高端液晶显示面板的高分辨率、窄边框、低功耗等产品规格要求。由于氧化物半导体具有迁移率高、均一性好、透过率高、制作工艺简单等技术优势,特别适合取代a-Si而成为TFT的沟道材料。本文尝试采用非晶InGaZnO薄膜晶体管(a-IGZO TFT)实现集成栅极驱动电路(Gate In Array,GIA)。实验发现针对
【出 处】
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上海交通大学
【发表日期】
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2020年06期
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