用于微/光电子器件制造装备的直线机械导轨运动平台需要进行高加速、高频率、高精度的往复点位运动,其对控制系统提出了更高的性能要求。刚柔耦合平台通过柔性铰链的弹性变形补偿导轨的摩擦死区,相较于刚性平台可实现更快的启动速度和更高的定位精度。但引入柔性铰链降低了平台的固有频率,高增益的位置闭环PID控制容易引起平台谐振,系统的动态性能较差。因此本文研究一种自抗扰控制器在刚柔耦合平台运动控制中的应用方法以提高系统的动态性能。本文中首先建立了音圈电机及刚柔耦合平台动力学系统模型并使用频率响应法进行模型参数辨识实验,然后针对刚柔耦合运动平台设计了一种带模型的自抗扰控制器,将建立的系统模型与实际物理模型间的动态变化与被控对象受到的外部扰动当作被控对象的“总扰动”处理。本文中采用自抗扰控制器取代位置和速度双闭环PID调节器,使用极点配置法整定自抗扰控制器带宽参数,最后进行平台运动控制及性能测试实验。本文中的仿真结果表明和位置PID控制相比,自抗扰控制系统动态性能更好。平台运动控制实验中均使用同一组自抗扰控制器带宽参数,在50mm行程点位运动中规划1～2g加速度指令,基于自抗扰控制的刚柔耦合平台可在200ms内达到±0.1?m的稳态误差,快速轨迹跟踪实验中平台的位置误差在±3?m内。实验结果表明,自抗扰控制器可满足刚柔耦合平台运动控制的性能要求。