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【摘 要】
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微/纳定位技术是微/纳米制造、微观成像、纳米压印、硬盘高密度数据存储及光刻等诸多行业的核心共性技术,但随着相关精密工程及技术领域的飞速发展,对微纳定位系统的性能及结构尺寸等提出了苛刻要求。特别是在内窥镜光学相干断层扫描、高密度光存储等新兴应用场合,微定位平台的紧凑结构、多自由度运动与高响应速度的设计成为关键。传统压电叠堆驱动器,因其尺寸的限制很难满足相应领域的应用需求;而压电薄膜驱动器作为驱动元件
【机 构】
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山东大学
【发表日期】
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2017年09期
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