IC产业是我国新兴战略性产业,在国民经济和国防事业中都有重要战略意义。装备作为IC制造的核心载体,是IC产业的基础和支撑。因制造方式的转变、效率和环境需求的提高,IC制造装备通常采用集束型结构,其制造过程复杂,行为逻辑约束严密,如何对装备行为逻辑进行正确、鲁棒的导引与约束控制是实现装备高可靠运行的关键内容。本文通过分析IC制造装备行为动态执行过程,提出IC制造装备行为逻辑控制系统原型。该系统原型包括行为激励、装备状态、物理活动和活动事件四类对象元素,以及行为逻辑导引与约束控制和状态演化控制两类逻辑控制模型。然后以集合形式建立行为逻辑控制系统中四类对象元素的数学模型,并基于系统对象元素的数学模型,建立系统实现逻辑控制的逻辑规则的数学模型。基于以上建立的对象元素数学模型和逻辑规则数学模型,提出IC制造装备行为逻辑控制系统的数学模型。该系统是一个离散动态系统,实现IC制造装备行为逻辑导引与约束控制和状态演化控制。基于以上建立的行为逻辑控制系统,分析定义系统实现正确逻辑控制的必备性质:规则完备性和系统活性。针对复杂系统中规则繁多,性质验证困难的问题,提出基于系统矩阵模型证明系统规则完备性和系统活性的方法。最后基于以上提出的行为逻辑控制系统的数学模型,开发出IC制造装备行为逻辑控制软件原型系统。该软件原型系统包括系统建模、性质验证、仿真测试等功能。基于该软件原型系统对某硅外延装备传输行为的逻辑控制进行建模,并通过仿真测试验证了提出的行为逻辑控制系统模型的有效性。