随着微电子制造装备不断向着精密化、智能化的方向发展,对高精度视觉检测技术的要求越来越高。设备运动及环境干扰引起的振动和被测工件的不水平问题都会产生图像模糊甚至导致检测失败,精密视觉检测系统因此对工件平台的隔振与调平性能提出了严格要求。本文面向精密视觉检测系统对工件平台提出的隔振与调平技术需求,提出一种小型化隔振调平复合平台新结构,在平台动力学建模和仿真分析基础上,提出平台的双轴调平与主动减振控制算法和平台多自由度协同控制方法,并通过隔振调平复合平台实验系统搭建与算法实现,实验验证所设计复合平台的隔振与调平性能。主要研究内容概括如下:1、调研被主动隔振技术、指向调平技术、以及隔振、指向复合技术的研究现状,比较目前研究的优点和不足,明确隔振、调平协同的难点和关键技术,确定本文研究内容和技术方案。2、深入分析经典隔离理论和准零刚度隔振理论的原理、特点及其局限性,在准零刚度隔离理论分析基础上,对双稳态屈曲梁负刚度机构的理论模型进行推导,明确该负刚度机构的实现原理和特点,获得隔振平台设计所需的负刚度模型;3、设计多自由度隔振调平复合平台,提出一种基于准零刚度原理和音圈电机直驱形式的隔振调平复合平台新结构,设计基于双稳态屈曲梁机构的隔振平台和三运动驱动作用的双轴调平平台,通过复合平台的零部件设计、计算、建模与仿真分析,确定复合平台及关键零部件的结构参数与选型,并通过复合平台整体结构的有限元仿真分析,验证复合平台的静力学与动力学特性。4、针对复合平台的调平控制和隔振问题,提出复合平台的双轴调平PID控制算法,实现高精度快速调平;基于正位置反馈（PPF）控制原理,设计复合平台的主动减振算法,抑制平台的共振峰值,提高平台的隔振性能,并通过平台的隔振、调平协同控制方法,实现平台隔振与调平的协同控制;最后,利用ADAMS-SIMULINK联合仿真系统对平台的控制系统进行仿真分析,验证所提控制算法的可行性。5、搭建所设计的隔振调平复合平台实验系统,开展复合平台隔振性能、调平性能实验,以及隔振与调平协同工作性能的实验测试,验证所设计隔振调平复合平台的可行性和有效性。