多弧离子镀制备TiN和Ti(Ru)N涂层及其性能研究

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针对装饰品行业对装饰性涂层的硬度、耐磨等的应用要求,本文通过多弧离子镀工艺在Ti6A14V基体上成功地制备了 TiN和Ti(Ru)N(3wt%Ru,10wt%Ru)涂层,该两种涂层的外观色泽都呈现出金色光泽。本课题中主要通过选择不同的氮气流量和不同的Ru元素含量来制备TiN和Ti(Ru)N涂层。实验的目的都是在保持TiN涂层金色光泽不变的前提下获得机械性能和摩擦学性能更优异的装饰涂层,来满足装饰品行业的发展需求。本论文的主要研究结果如下:本文通过改变氮气流量,分别在1.0Pa、1.5Pa、2.0Pa、2.5Pa四种不同的氮气压强下制备了 TiN和Ti(Ru)N(3wt%Ru)涂层。结果显示:两种涂层的物相都为TiN相,并且涂层与基体的结合力良好;在Ti(Ru)N(3wt%Ru)涂层的截面图中发现了部分富Ru沉淀物;Ru元素的添加细化了晶粒尺寸,TiN涂层整体晶粒尺寸为160~300nm,Ti(Ru)N(3wt%Ru)涂层整体晶粒尺寸为40~100nm;Ru元素的添加都不同程度的提高了 TiN涂层的硬度、H/E值和H3/E*2值,Ti(Ru)N涂层的相关硬化机理是细晶强化和固溶强化;Ru元素的添加降低了涂层的摩擦系数,改善了涂层的耐磨性。通过硬度、弹性模量和摩擦磨损的数据综合分析,结果显示在1.5Pa的氮气流量下Ti(Ru)N(3wt%Ru)涂层的性能最好。为了进一步研究Ru元素对TiN涂层的影响,本文将Ru含量提高到10wt%在1.5Pa的氮气流量下制备了 Ti(Ru)N涂层。然后将不同Ru含量的涂层进行对比研究,结果表明:相比Ti(Ru)N(3wt%Ru)涂层,在Ti(Ru)N(10wt%Ru)涂层的截面中的富Ru沉淀物数量增加;Ti(Ru)N(10wt%Ru)涂层的晶粒尺寸约为60~80nm,而Ti(Ru)N(3wt%Ru)涂层的晶粒尺寸约为50~80nm,所以对于3wt%Ru和10wt%Ru不同的Ru含量,两者细化晶粒的结果差异不大;相比3wt%Ru的Ti(Ru)N涂层,10wt%Ru的Ti(Ru)N涂层的硬度出现降低而摩擦系数出现升高。通过硬度、弹性模量和摩擦磨损的数据综合分析,结果表明,相比1 0wt%Ru,在本文中3wt%Ru的涂层的性能更好。最后结合SEM、XRD、XPS和TEM的结果分析,Ru元素在Ti(Ru)N涂层中主要以富Ru沉淀物和固溶体的形式存在,少量由含Ru的非晶部分与结晶TiN相混合的形式存在。
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