表面粗糙度是表面微观不平整度的一种度量，它对光学元件和机械零件的性能有着重要影响。表面粗糙度的测量在工业加工领域得到了越来越多的重视。传统测量表面粗糙度的方法有比较法，触针法，光切法，干涉法等，但这些方法都各自存在一定的缺陷。因此需要提出一种新的方法来克服这些缺陷。　　 为了实现样块表面粗糙度参数的快速，无损，自动测量，研究了一种新的表面粗糙度测量系统。该系统是在米洛干涉显微镜的基础上，结合数字图像处理技术，实现样品表面粗糙度的测量。该系统主要由米洛干涉显微镜，CCD摄像机，计算机和超声波电机组成。首先通过米洛干涉显微系统对样块表面干涉成像，然后将由CCD摄像机采集到的干涉图像，送入计算机进行存储。然后利用数字图像处理技术对干涉图像进行预处理，二值化，细化，提取出样块表面产生的干涉条纹信息。最后对提取的干涉条纹进行最小二乘直线拟合，求出样块表面粗糙度的评定参数。此外，该系统还可以实现对薄膜厚度小于半波长的薄膜进行测量。　　 与传统的测量方法相比，本论文提出的方法具有非接触，测量精度高，能够实现在线测量的优点。实验结果表明，当样块表面的粗糙度参数小于0.1um时，该方法的测量值与真实值比较接近。