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随着科学技术的发展，在精密测量、纳米科学仪器、精密加工装配、半导体装备和生物细胞操纵等众多精密技术领域，迫切需要驱动及控制系统具备高分辨力、高精度、高稳定性、重复定位精度高等性能。微位移驱动定位及控制技术的发展，也为微小尺寸零件的超精密加工提供必要的技术基础。设计了基于尺蠖运动机理的微角步距压电电动机，采用现场可编程门阵列FPGA (Field programmable gate array)作为驱动控制核心，经薄膜键盘设定产生方波信号的参数，方波和经过积分电路转化的三角波信号一起作为初始控