近年来，随着光通信技术的迅速发展，人们对硅基光波导的研究也不断在深入。硅基SiO2光波导具有结构简单、传输损耗低、易于集成、性能稳定等优点，并能有效的与光纤耦合，是较理想的波导材料。而且光波导中的脊形波导在集成光学中有着广泛的应用，它是薄膜激光器、耦合器、调制器、光开关等许多光电器件的基础。所以脊形波导日益受到人们的关注，成为光通信领域研究的热点。　　 虽然极化后的SiO2能够产生二阶非线性效应，但光波导的二阶非线性效应相对于晶体材料很低，需要深入研究，进一步提高光波导的二阶非线性光学效应，使之能够广泛地应用到光电器件中，最终非线性在光波导中有着重要的潜在应用。本文就是利用MZI(Mach Zehnder Interferometer)电光效应测试系统，测量经过高温高压热极化后的脊形光波导，优化光波导热极化参数(极化温度，极化时间，极化电压等)，从而提高脊形波导的二阶非线性光学效应。　　 1、介绍了光波导的一些基本理论知识，以及熔融石英的一些特性，利用非线性光学原理分析了熔融石英经过热极化产生二阶非线性的原理及物理机制。　　 2、介绍了脊形光波导的几种制备工艺及其制备过程，以及对脊形波导进行极化的主要极化方法，并对各方法进行比较，最终采用热极化法。　　 3、介绍了MZI测试系统的测试装置、原理、步骤，采用MZI电光效应测试系统测量并优化极化结果。　　 4、采用实验和理论模拟计算相结合的方式，对脊形光波导进行模拟计算，得出脊形波导的制备参数及优化结果。