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光学薄膜材料在人们的生活中变得日趋重要。光学薄膜的制备技术在近几十年来得到不断发展,而如何对薄膜的制备过程进行实时监测,以及如何通过监测干预制备过程使过程得到有序的控制,一直是人们所关注的课题。光学实时监控利用光学方法实时监控薄膜的制备过程,因其快速而不会伤害薄膜的特性而受到重视。宽光谱监控通过在一定的波长范围内实时测量和分析薄膜的特征光谱,在薄膜的生长过程中实时跟踪薄膜的各种光学特性的变化过程。它突破了传统的石英晶振监控和单波长监控其测量方法的单一性和局限性,并且能够根据所需的光学特性更有效地制备