目前，新型功能薄膜材料的研究十分活跃，薄膜样品的厚度、折射率等参数的快速测量，以及薄膜生长过程中的膜厚与折射率的实时监测，是高质量纳米级薄膜生产和研究中的关键技术。国内外椭偏测量仪主要采用消光法或光度法的原理，对于诸如对功能薄膜生长时厚度的实时监控，光束偏振态的快速变化的情况，用传统的测量方式无法实现快速测量，不能适应测量的需求。因此，研究能快速获得偏振光偏振态的新型测量仪器并用于椭偏测量技术中具有现实意义和实用价值。　　斯托克斯矢量可全面描述光束的偏振态和光强度，通过对斯托克斯参数的测量，即可确定光束的偏振态，进而确定样品的椭偏参数(Ψ，△)和折射率与厚度(n，d)等。本课题采用分振幅的方法把入射光分成四道光束，通过四通道探测同时进行信号采集，可以快速地测量待测光偏振态的全部斯托克斯参数。　　本课题对斯托克斯参量椭偏测量精确度做了如下研究工作：　　(1)总结概括了偏振态斯托克斯参量测量方法和椭偏测量技术及其应用。　　(2)理论推导了椭偏参量(Ψ，△)与斯托克斯参量的关系。　　(3)编写了椭偏参量(Ψ，△)与斯托克斯参量的反演程序。　　(4)分析了四通道光强变化及四分之一波片相位延迟量对椭偏参量(Ψ，△)的影响。　　(5)采用四个标准片进行原位定标的方式对系统定标，并修正了光偏振态发生器的偏差，使仪器矩阵的测量更准确更方便。　　(6)实验表明：本系统可用于偏振态的斯托克斯参量的精确测量，通过对100nm北大标准片近两个小时的测量，(Ψ，△)的标准差为(0.0045°，0.0258°)。