ZnO薄膜结构特性研究

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【摘要】

：

ZnO是一种具有纤维锌矿结构的半导体材料，作为一种具有宽带隙、低介电常数、高化学稳定性及优异的光电、压电特性的功能材料在许多领域尤其是光电器件领域有着重要应用。本文的ZnO薄膜样品是采用电子束反应蒸镀的方法，在单晶Si(001)及玻璃衬底上低温外延生长了沿c轴高度取向的单晶ZnO薄膜。本文从三个方面入手分析研究了薄膜生长条件(不同的衬底、不同的生长温度)对ZnO薄膜的结构特性的影响，并作了相应的比

【作者】

：

章建隽

【机构】

：

浙江大学

【发表日期】

：

2002年02期

【关键词】

：

薄膜结构 ZnO 反应蒸镀喇曼薄膜样品显微结构原子力显微镜高度取向散射光谱高化学稳定性

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