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【摘 要】
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在众多微结构加工方法中,超声波压印技术为了一种新兴的制造技术,具有快速、清洁、经济、不引入外部材料等许多独特的性质,在微结构加工方面有着广阔的应用前景。目前超声波
【出 处】
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大连理工大学
【发表日期】
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2013年期
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