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增透膜作为光学薄膜的一种,广泛应用于各种光学元件、太阳能电池以及大功率激光系统中。目前已有很多不同类型的增透膜能满足光学技术领域的部分实际应用。但在大功率激光系统等实际应用中,除了要求某些光学元件具有高增透性能外,还要求增透膜在环境中的增透性能可长时间保持稳定;并具有较强的抗激光损伤能力。因此,更广泛的实际应用对增透膜综合性能的要求不断提高。本论文以TEOS(正硅酸乙酯)、乙醇、氨水和水等为原料,通过溶胶-凝胶法浸渍提拉镀膜工艺制备了SiO2增透膜,研究了反应温度、溶胶浓度、提拉速