本文在分析现有微质量测量方法的基础上，提出了超微质量测量方法的设计思路，大胆采用高精度高回转度的微气动静压轴承作为超微质量转换装置的主轴，并结合激光三角测量方法将微小偏转角转换成微弱电信号，然后采用测量电路对微弱电信号进行采集放大、模数转换、运算及数模转换等处理，处理后的信号经过功率放大后输出到采用压电微执行器的反馈执行机构，从而构成一个闭环测量系统，有效地降低测量系统对各个测量环节地精度要求，提高系统整体的精度和稳定性。根据该设计思路，本文提出了系统总体方案，并对方案中采用的关键技术进行了具体的分析；其次建立了系统的数学模型，并采用MATLAB/SIMULINK建立了系统的动力学仿真模型，用仿真的方法分析了系统总体方案的可行性；最后制作了模拟超微质量转换装置偏转的实验装置，并采用激光三角测量装置和测量电路对偏转角进行了测试，实验结果合理可靠。实验证明系统总体方案具有可行性，也即本文提出的超微质量检测方法是可行的。