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钛酸锶钡(Ba_xSr_(1-x)TiO_3,简称BST)薄膜是一种性能优良的铁电材料,具有非线性强,漏电流低和热释电系数较高等特点,BST的居里温度可以通过Ba:Sr比例来调整,因而适当组分的BST材料是一种非制冷红外焦平面阵列的理想材料。本论文采用超声雾化热解法制备了Ba_(0.65)Sr_(0.35)TiO_3薄膜,概括了超声雾化热解法制备薄膜的发展现状,综述了超声雾化热解技术制备薄膜的生长机理及其过程,讨论了BST薄膜生长的反应动力学和传输动力学。