碳纳米功能材料组装及接触电阻的实验研究

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碳纳米管和石墨烯作为碳纳米功能材料中的代表,在纳米传感器、场效应晶体管、微机械、能源存储、复合纳米材料等领域展现出良好的应用前景。将碳纳米管、石墨烯有效地集成到微纳器件上实现组装是其得以应用的重要条件。介电电泳法在组装过程中通常不会对碳纳米管和石墨烯造成损坏和污染,已经成为目前组装碳纳米管和石墨烯最常用且最具前景的方法。组装后碳纳米管和石墨烯与金属电极之间存在较高的接触电阻已成为影响其应用的重要因素,降低其接触电阻已成为当务之急。高温退火法以及局部焦耳热法(通电降阻法)操作简单,无需苛刻的外部条件,降阻效果显著。文章首先采用介电电泳法对石墨烯进行组装,研究组装过程参数包括交变电压幅值、石墨烯悬浮液浓度和外加电场作用时间对组装结果的影响。结果表明:组装到电极间隙的石墨烯数量随着上述组装参数值的增大而增加,其中石墨烯悬浮液浓度的影响最为显著,高效组装石墨烯的最优参数组合为:交变电压幅值3V、悬浮液浓度4μg/m L、外加电场作用时间120s。其次,利用正交试验设计和方差分析法研究高温退火法和局部焦耳热法中各因素对降低碳纳米管接触电阻效果的影响。结果表明:影响石墨烯降阻实验效果的主要因素分别为退火温度和通电功率,两种方法降低碳纳米管接触电阻的最优参数组合分别为:退火温度300℃、保温时间15min、升温速率20℃/min和通电功率120μW、通电频率1KHz、通电时间180s。最后,我们对比高温退火法和局部焦耳热法降低石墨烯接触电阻的效果以及降阻稳定性,得出高温退火法的降阻效果较好,电阻的最高下降幅度为92.82%,而局部焦耳热法的降阻稳定性较好,电阻的最大回升幅度为4.80%。
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