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微机电系统(MEMS)是一种微型化的设备,它能够感知环境、处理和分析信息,是一个独立的智能系统。微悬臂梁是微机电系统器件中最典型的结构,其动力学特性直接影响了系统的设计和性能。微悬臂梁作为一个微型传感器得到了广泛的应用,在各个领域几乎都有研究。但是微悬臂梁在物流运输、仓库存储等工作中容易受到随机激励产生振动,因此研究微悬臂梁在随机激励下的振动响应很有必要。采用集总参数建模方法,将微悬臂梁系统等效为弹簧质量阻尼系统。然后,应用极点留数法,推导出MEMS中微悬臂梁在高斯白噪声激励下瞬态均方响应的封闭解。