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【摘 要】
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该论文研究重点是离子束辅助沉积(IBAD)类石墨碳膜和BO膜.研究表明离子束溅射可获得以SP结构为主的高硬度低摩擦系数碳膜.为提高碳的沉积速率,该文在离子束辅助沉积设备中增
【机 构】
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西安交通大学
【出 处】
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西安交通大学
【发表日期】
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2003年期
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