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【摘 要】
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随着激光加工技术的迅速发展,与之对应的表面形貌检测技术也在快速发展。在激光微加工领域,刻蚀工件的表面粗糙度和刻蚀尺寸是其最重要的表面形貌评价参数。其中,表面粗糙度
【出 处】
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华中科技大学
【发表日期】
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2015年期
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