MEMS微机械陀螺具有集成化、微型化、智能化、功耗低、高可靠性等优点，被广泛运用在航天航空领域、汽车工业、军事装备和电子产品中。随着科技的进步和人们需求的日益提高，对陀螺性能要求变得越来越高。因此，硅陀螺的数字化就显得极为重要，它能大幅提高其性能。在硅陀螺接口电路中，数模转换器的精度水平对系统性能有显著影响。本课题主要针对硅陀螺接口电路中数模转换器进行研究，深入分析并设计实现了插值滤波器模块。在插值滤波器的分析设计中，首先深入分析插值滤波器的工作原理，使用过采样技术，在硬件开销和性能间综合考虑，采用半带滤波器，半带滤波器和CIC滤波器三级级联结构，实现过采样率128倍。为了保证精度，在MATLAB中对三级滤波器分别进行了行为级设计，然后使用Modelsim进行了RTL级设计，实现了包括各级滤波器、测试模块、时钟等模块在内的Verilog代码设计，完成了代码级的数字滤波器仿真。最后使用Synospsys DC工具进行了抽取滤波器的DC综合，这一过程使用了MEMS中心开发的标准数字单元库，最后使用Encounter对设计进行了布局布线，实现了抽取滤波器的版图。应用Matlab、Modelsim、Design Compiler、Cadence的Encounter、Virtuoso等工具对电路进行系统仿真、Verilog代码验证及AISC综合，数字滤波器电路可以满足16位精度Sigma Delta转换器的设计要求。