基于光纤光栅差压式流量传感器的设计

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论文首先对传统差压流量测量技术和标准节流装置及差压传感器进行了简要介绍。其次,详细介绍了光纤光栅传感技术的原理及其应用情况,并对光纤光栅传感技术在流量测量领域中的应用、光纤光栅解调技术、温度补偿技术进行了总结和归纳。课题采用传统标准孔板差压流量测量结构,将流量信号转化为差压信号,利用光纤光栅敏感元件和膜片弹性元件设计出了差压传感器结构,将光纤光栅传感技术与差压流量测量相结合,构成了光纤光栅差压式流量传感器。论文对光纤光栅差压流量测量原理、光纤光栅差压传感器及温度补偿措施进行了详细的理论分析,推导出了相应的流量特性方程、差压特性方程和温度补偿算法。课题对光纤光栅差压传感器结构进行了合理必要的简化,利用316不锈钢平膜片,设计制作出光纤光栅压力传感器。并制作完成课题需要的LED宽带光源,利用活塞式压力计、光谱分析仪等器件完成实验平台的搭建。课题对制作完成的光纤光栅压力传感器进行了实验测试。实验结果表明,课题中制作的光纤光栅压力传感器拥有较好的迟滞特性、重复特性、线性特性,灵敏度约为3.0pm/KPa,满量程分辨率达到0.15%,证明了光纤光栅差压流量测量方案的可行性。课题对光纤光栅解调技术做了一定的探讨,利用InGaAs线型图像传感器设计构成光纤光栅解调模块,并设计完成以TMS320VC5402为核心的DSP信号处理电路。论文最后对光纤光栅压力传感器实验测试结果进行了全面的分析和总结,并提出了若干具体改进措施。
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