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随着半导体产品的发展,对半导体超精密加工平台的要求更加迫切,人们不断探索超精密加工平台的控制方法。气悬浮精密加工平台虽有很多优点,但系统设备复杂、刚度小、承载能力低、加工精度只能达到几十纳米,对于更高精度要求的半导体器件,气悬浮加工平台目前还达不到。本论文课题研究的电磁永磁混合结构结合了电磁体和永磁体二者的特点,能够起到纯电磁铁悬浮系统所不能达到的效果。在混合结构中永磁体产生的磁场起主导作用,通入线圈中电流产生的磁场起一个微调作用。因此,在产生相同悬浮力的情况下,混合结构比纯电磁结构需要的电流较小,