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逐次逼近(SAR)模数转换器(ADC)由于其结构上的优势逐步成为低功耗高精度ADC的主要架构选择之一。围绕低功耗、高精度及低成本的折衷,开展SAR ADC的系统结构和数字校准算法的研究是目前SARADC研究的热点之一。本课题在系统分析SAR ADC原理基础上,采用混合电阻电容架构研发了基于0.13m CMOS工艺的SAR ADC芯片,研究了新型架构Pipelined SAR ADC的系统实现结构,采用混合电容电阻架构设计了系统中第二级SAR ADC,进一步提高其综合性能;研究了用于Pipelined SAR ADC的数字自适应滤波算法,对其进行了算法建模与仿真验证;最后研发了用于自适应滤波算法的辅助参考ADC,完成芯片的电路设计和流片验证。论文主要研究成果及创新点如下:(1)采用5位电阻3位电容的混合架构设计了8位1Msps单端SAR ADC,该芯片集成了环形振荡器(OSC)、串行接口(SPI)等关键模块,使ADC的采样频率根据系统需求进行调节。为解决电阻电容结构带来的噪声增加、工作频率下降等问题,采用f-3dB,DAC和总噪声功率电压等参数约束,进行DAC中采样频率、噪声与功耗的折衷设计;为满足单端8位精度ADC对低失调轨到轨比较器要求,提出了在前置放大器中加入反馈电容和增加输入管面积的方法,使比较器失调电压小于2mV;提出了多个反向器和多个单端运放串联的低频环形振荡器结构,实现频率可调。芯片采用0.13m工艺实现,面积0.1mm2,测试结果表明芯片的微分非线性为+0.11/-0.18LSB,积分非线性+0.8/-0.04LSB,无杂散动态范围(SFDR)53dB,信噪失真比(SNDR)43.3dB,成本性能指数(FOMA)7.7pJ·m/con。(2)采用Pipelined SARADC架构设计12位2Msps ADC,该ADC将两个子SARADC通过乘法数模转换器(MDAC)连接起来。为保证采样精度和放大精度,优化控制时序逻辑,提出了采样相4个时钟周期、放大相位4个时钟周期的时序设计,解决Pipeline不交叠时钟和SAR采样时钟、多位逐次逼近时钟和清零时钟等系统时序问题。第一级6位子SAR ADC采用全电容结构实现,第二级7位子SAR ADC分别采用混合电容电阻结构和全电容结构实现。仿真结果表明混合电容电阻架构Pipelined SAR ADC的有效位可达10.5位,SNDR为65.0dB;全电容架构Pipelined SAR ADC的有效位为10.33位,SNDR为63.9dB。(3)为进一步提高ADC的精度,本文研究了数字自适应滤波算法,探索将LeastMean Square (LMS)、变步长LMS算法和Recursive Least Square (RLS)算法用于非理想ADC中。在LMS算法中,将步长的第一位作为小数点的位置,运算中产生的小数数据进行截位处理,解决了算法收敛的难点。FPGA验证结果表明非理想ADC的信噪比(SNR)由61.37dB提高到64.29dB,SFDR由80.68dB提高到83.65dB。在RLS算法中,涉及到矩阵乘法和除法的运算,算法参数λ是小数,运算过程中会产生精度较高的小数,为此采用浮点DSP实现算法的硬件验证。验证结果表明非理想ADC的SNR由11.31dB提高到20.88dB。用Simulink对变步长LMS算法进行建模,仿真结果表明变步长LMS算法在达到LMS算法校准精度情况下可以将收敛速度提高一倍。(4)数字自适应滤波算法中需要一个16位精度以上的辅助ADC,为此本文设计了可配置动态范围的1.2V电压16位1.25MHz Delta Sigma ADC。为实现可配置动态范围和降低功耗,提出了可配置阶数的Mash2-2调制器和可配置过采样率(OSR)的数字滤波器的设计,解决了高阶调制器不稳定性和OSR可调等难点。为分析非理想误差对调制器的影响,提出了对整个调制器和数字滤波器进行行为级建模和仿真,解决增益参数选取复杂,获得稳定性能等难点。芯片采用0.13m工艺实现,测试结果表明芯片的动态范围可以从55dB变化到95dB,最高有效位为14.07位,性能指数FOM为162。本论文的研究成果可望为低功耗高速高精度ADC设计和数字校准算法领域提供一定的技术参考。