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来源 :西安理工大学 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
闭合场非平衡磁控溅射镀膜设备真空腔尺寸较大,工位很有可能显著影响镀层的质量。目前,有关这方面的研究主要集中在工位对镀层厚度影响的分析,还有待于对其进行全面和深入的
【作 者】
:
邓凌超
【出 处】
:
西安理工大学
【发表日期】
:
2006年期
【关键词】
:
非平衡磁控溅射
C/Cr复合镀层
靶基相对位置
性能和组织结构
影响机理
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