光学器件的主要组成是碳酸盐、碳化硅、二氧化硅等材料组成,属于各向同性的非晶态固体材料。光学器件已经广泛应用于宇宙探索、民用设备、航天、交通通信等领域。随着科技的进步和工件表面精度需求的不断增加,对于光学器件的加工工艺的要求也越来越高。光学玻璃加工具有硬度较大、挤压易崩碎、韧性差、难实现塑性加工等特点,造成光学玻璃加工效率低、成本高、表面质量差。若采用传统的加工方法来进行加工,效率低、成形质量差,对于操作人员的加工技术和经验依赖性高,加工质量稳定性差。光学玻璃的快速、高效精密抛光加工是实现精密过程中迫切需要解决的问题。本文以硬脆性光学器件为研究对象,对超声振动辅助下的复合抛光机理进行深入研究。研究内容具体如下:（1）研究光学玻璃的超声振动辅助的抛光机理。超声振动作用下的抛光作用主要包括抛光液的流体冲击效应、超声振动的骚动效应、磨粒高频高速锤击效应等。提出了硬脆性材料的延性加工工艺,同时对于光学器件实现超声辅助下延性加工。对硬脆性材料的延性加工和超声抛光的理论做系统的总结。（2）构建超声辅助下抛光磨粒的基本模型,考虑磨粒在超声作用下的影响,根据超声振动在抛光液中的传播建立的数学物理方程来对磨粒进行描述,利用超声辅助下的抛光去除材料的机理推导出磨粒对工件的去除函数。确定了影响抛光加工的主要的影响参数。（3）仿真建模和分析,通过采用仿真软件ABAQUS对超声频率、磨粒尺寸、粘连系数以及抛光盘转速四个参数对抛光过程中的工件表面的加工情况进行分析,提取在加工表面的Mises应力分布情况和等效塑性应变（EPPQ）情况,并对提取的数据进行处理形成,通过对被加工表面的应力、应变量的提取可以得出不同参数对于超声辅助下的抛光加工后工件的表面情况的影响。