【摘 要】
：
随着微结构加工技术的发展，加工尺寸由一般尺寸向微米级、亚微米级甚至是纳米级尺寸过渡，这就对三维微结构的超精密测量提出了更高的要求。在诸多的微结构测量技术中，共焦显微系统凭借其精度高、分辨力高、非接触以及能够三维成像的特点，被广泛应用于微电子、微光学以及生物工程领域。由于系统分辨力是衡量测量技术性能的重要指标之一，系统空间分辨力的改善措施成为诸多共焦研究方向中的热点。在分析离焦像差对共焦显微系统轴向
论文部分内容阅读
随着微结构加工技术的发展，加工尺寸由一般尺寸向微米级、亚微米级甚至是纳米级尺寸过渡，这就对三维微结构的超精密测量提出了更高的要求。在诸多的微结构测量技术中，共焦显微系统凭借其精度高、分辨力高、非接触以及能够三维成像的特点，被广泛应用于微电子、微光学以及生物工程领域。由于系统分辨力是衡量测量技术性能的重要指标之一，系统空间分辨力的改善措施成为诸多共焦研究方向中的热点。在分析离焦像差对共焦显微系统轴向以及横向光强分布特性影响的基础上，本文给出了一种对称离焦结构以努力提高系统轴向分辨力。针对反射式
其他文献
近年来，科学技术迅猛发展，机械行业的生产加工方式都发生了巨大改变，生产计划已经不再延续大批量生产的方式，已经逐步转变为准时加工和精益生产，计算机集成制造得到进一步发展。论文以某造船厂的钢管原材和余料的自动化仓储和加工系统为研究对象，选题来源于企业的现代化生产管理，对物流自动化仓库的整体规划设计，对仓库货架系统进行静力学分析和稳定性分析，建立系统的仿真模型并且将仿真系统与仓库管理系统相结合，研究内容
翻车机系统是散货装卸车机械的一种，在港口、钢厂和电厂中应用较为广泛。翻车机系统的定位车和推车机上的制动器动作频繁,可靠性要求很高。本课题针对目前翻车机系统中推车机、定位车设备的电磁制动器电路板无法正常使用，频繁烧损的现象，设计了一种以液压为动力源的制动器。此种制动器结构简单、易于操作、工作可靠、成本低。本文首先对翻车机卸车系统的组成、基本结构和工作流程进行了详细的介绍，在此基础上，分析了推车机、定
本论文针对当前大型齿轮的制造费用较高、检测设备费用较昂贵等提出了一种新的大齿轮磨损的检测方法。该论文的研究方法是首先推导出渐开线直齿轮的测量坐标方程，将整个坐标系统一。通过有限元软件分析出齿轮的最大受力位置和最大的变形位置，找出齿轮最容易磨损的位置，然后在Solidworks软件中重建齿轮模型。将磨损区域等分，在齿轮的磨损区域计算出压力角的变化范围，将各个压力角的值带入到推导出的渐开线方程。将计算
随着现代科技的进步与发展,机械设备越来越大型化,结构越来越复杂,自动化程度也越来越高。为了避免由于某一设备故障而导致一连串的设备事故发生,就必须对关键设备进行状态监测与故障诊断。本文主要讲述的是基于DRVI虚拟仪器平台,搭建一个虚拟仪器,实现对空气压缩机内齿轮箱体部分进行实时的状态监测,并通过分析处理监测所得的信号达到对设备进行诊断的目的。该设计以新型的仪器概念—虚拟仪器为主体,设计成果直接面向实
随着经济的发展和全球化的竞争，制造业之间的竞争愈演愈烈。在这种环境下，一个企业若想生存下去，就必须提高自身的竞争能力。如今，产品的成本和利润透明化，依靠降低原材料的成本和原材料的消耗等方式来降低成本的方法几乎是不可行的，于是越来越多的企业开始关注“第三利润源”，即物流成本，而物流设计本质上是设施布置的设计。设施布置包括工厂的总体布置和车间布置两个方面。车间设施布置对生产系统的物流、信息流、生产成本
为满足不同的客户需要，多品种混合装配已经是一种较为常见的生产方式。为了提高混合装配车间配料区的工作效率，加快配料区工人分拣物料的速度，减少配料区补料过程中的物料搬运时间，论文以来自企业实际应用的混合装配车间为研究对象，通过对现有混装车间配料区的物流过程存在的瓶颈进行分析，提炼出配料区补料优化问题和配料区物料布局优化问题，对装配车间配料区的复杂物流过程进行建模与优化。论文的研究工作主要有以下几点：(
汽车起重机在吊装作业过程中由于变形或运行加速度的影响，吊重会产生偏摆，对于吊装定位精度、作业效率及安全性都有影响，因此需要对起重机吊重偏摆进行修正和控制。传统的研究起重机吊重偏摆控制问题主要都是针对小车式变幅起重机的小车-吊重系统展开的，对于动臂式起重机不再适用。本文对于汽车起重机起钩、落钩、回转、变幅不同作业情况吊重偏摆问题进行了分析，建立了起落钩工况的系统变形分析模型并进行了偏摆修正，同时建立
箔片轴承是一种柔性表面动压轴承，具有转速高、抗冲击性能好等优点。本文以提高箔片轴承承载力为目的，提出了两种新型带有弹性支撑结构的多叶箔片轴承，研究该新型箔片轴承的静态、动态特性，同时与普通圆周径向轴承、没有支撑结构的多叶箔片轴承进行对比研究，设计并加工出单弹簧支撑的多叶箔片轴承，搭建了研究油润滑多叶箔片轴承动态、静态特性的试验台，给出了油润滑多叶箔片轴承动力系数识别方法，进行了静态、动态特性实验研
近年来，随着全球能源紧缺，原材料价格飞速上涨等因素的影响，工程界一直要求在满足工程要求的基础上，更好地进行结构优化设计。结构拓扑优化处于结构优化设计的概念设计阶段，其优化结果是其它后续设计的基础，因此在初始概念设计阶段需要确定结构的最佳拓扑形式。结构拓扑优化设计过程与生物自适应生长过程有很大相似性。生物通过感应外部刺激和内部需求来调节自身结构以适应外部环境和满足内部需求。基于生物自适应生长机理的结
焊接残余应力对构件的安全可靠运行产生非常大的影响，如能高效，无损，精准的测量出焊接结构的残余应力，对焊接结构的设计，改善服役状态下的物理性能，提高运行使用寿命等具有重要的意义。对比众多的焊接残余应力的测量方法，超声波法具有高效，无损，便捷等优势，具有巨大的应用潜力。超声波中的临界折射纵波（LCR波）波速对应力的变化反应比较敏感，是超声波法测应力主要应用的波形之一，以前的研究者应用LCR波测应力时，