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【摘 要】
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F-theta镜是激光扫描系统中的不可缺少的重要部件，被广泛用在标刻机、雕刻机、激光打印机、传真机、印刷机以及制作半导体集成电路的激光图形发生器和激光扫描精密设备中。但
【机 构】
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南开大学
【出 处】
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南开大学
【发表日期】
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2006年期
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