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【摘 要】
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随着人们对MEMS产品的深入研究和开发，越来越多的MEMS产品将走进我们的日常生活中。而MEMS可靠性问题将是MEMS市场化的巨大瓶颈，它直接关系到产品的开发效率、成本和商业化进程
【机 构】
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东南大学
【出 处】
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东南大学
【发表日期】
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2010年期
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