微波单片集成低噪声放大器的设计与工艺

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本论文根据现有的实验条件,对于低噪声HEMT,低噪声放大器的设计进行了研究,提出了适合我们设计要求的HEMT件外延层材料结构。  根据低噪声放大器的设计要求,对于低噪声放大器的主要指标进行了说明,对于设计中需要涉及的微带线理论知识进行了分析,对于各种匹配网络进行了详细说明。    对于HEMT器件与HEMT低噪声放大器的工艺设计进行了说明,主要对于无源元件,有源元件的版图设计和版图的等效电路进行了说明与分析,根据现有的实验条件进行了工艺流片。  
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